半導体製造装置向けチタン製熱交換器

今回の導入事例は、日東成工株式会社様に納入させていただいた「チタン製熱交換器」をご紹介させていただきます。

日東成工株式会社様について
日東成工株式会社様は樹脂加工と建設工事を事業の柱とされ、樹脂加工では樹脂製品の精密加工、PVC処理槽、液晶パネル製造装置の設計・製作・設置まで総合的に行っておられ、新潟県を拠点とされている企業様です。

開発・製造経緯
今回のご縁は、日東成工株式会社様が新潟県産業技術センター様へ熱交換器の新規開発についてご相談されたことがきっかけとなりました。同センターには私たちもさまざまな面でお世話になっており、このような形で繋がりが生まれたことを大変嬉しく思っております。
新規開発の目的は、既存の熱交換器に対し「腐食に繋がる耐薬品性の向上による長寿命化」および「従来熱交換器と同等の冷却性能の確保」でしたので、配管には耐久性に優れるチタンパイプを使用することとしました。冷却性能の確保のためには、熱流体解析を行いながら配管設計する事により、圧力損失を抑えつつ冷却性能を向上させています。
さらに、熱媒体と接する外面にテフロンコーティングを施すことで耐摩耗性を強化し、長期間の安定運用できる仕様としました。製造工程では、多数のパイプを組み合わせて高精度で溶接するため、溶接治具を準備して溶接することで、新規開発で設定した目標を実現しています。

開発の成果
2021年6月の受注から日東成工様とJHIで試行錯誤を重ね、初品は2022年3月に納品されました。仕上がりや性能について大変ご満足いただけたため、2025年7月現在で約10機を製作させていただいております。また、今後も年間数機程度の製作が計画されています。

SUSパイプ熱交換器の製作
新型のチタン製熱交換器で高評価を頂けたので、SUSパイプによる別用途の熱交換器の開発にも携わらせて頂くことになりました。この熱交換器は二重管構造を採用しているため溶接難易度が高くなりますが、ここでも専用の溶接治具を設計・製作することで高精度な製品を実現しました。

「できるかもしれない」を「できる」に変える
JHIは「できるかもしれない」を「できる」に変えるものづくりを目指しています。
構想段階からお客様と密に連携し、最適な製品を共に作り上げるプロセスは、私たちの技術力と提案力が生かされる場面です。
様々な仕様や用途に柔軟に対応できる体制と、確実な製品化を支える技術力を活かし、これからもお客様の多様なニーズに応えてまいります。

日東成工株式会社様ホームページ
日東成工株式会社